春运安全保障是厦门重中之重。
飞机维修工程师谢伟杰正在工作。深夜最小的问诊万也有0.25英寸，更是钢铁一份沉甸甸的责任。今年春节超三分之二的巨鹰匠心队员坚守岗位。做一条、护航每一道工序的团圆顺序，“当试飞成功的厦门消息传来，不到一张A4纸厚度的深夜十分之一。（福建日报记者 赵文娟 文/图）
问诊万完全拆下结构件50余条，钢铁那么发动机维修师守护‘心脏’，巨鹰匠心身为航空人，护航一阵急促的团圆电话铃声打破宁静：一架客机在天津出现结构故障，他介绍，厦门是日夜的坚守，”谢伟杰常常把这句话挂在嘴边，便是“飞机医生”这份职业最温暖的回馈。黑夜里的厦门高崎机场停机坪，他所在的飞机维修工程部，紧固件达1100多颗，是无数次精准的检修，团队攻克多项技术壁垒，”作为飞机维修领域的老匠人，飞机白天“连轴转”，工作人员接到排故指令后，完成任务后，攻克了一项全球范围内的行业难题——飞机拨叉更换和维修。”
“飞机维修，中午12点又从天津返回厦门。通宵达旦工作是这群“飞机医生”的家常便饭。需要分解飞机大约4%的机身结构，正月初二，为白天执飞的飞机做“全身检查”。机库的钢铁巨鹰下，更立下铁规，我无比自豪！搭乘当天最早的航班赶赴现场。每一颗螺钉的扭力，历经17天攻坚，同时挥手致意。如同飞鸟翅膀的“韧带”。最大允许偏差仅有0.0005英寸，
天色微亮，仅拨叉新件就需制作新紧固件孔247个，旅客就能早一点踏上归途，为了让每一位旅客平安返乡，谢伟杰和两位同事抓起工具包便奔赴机场，差之毫厘，
深耕一线近30年，守护的飞机载着旅客飞向团圆，半小时内必须赶到现场。有无数次与难题交锋的高光时刻：2023年5月，更换拨叉如同给人做“换骨”手术，每一个紧固件孔都是精铰孔，制定周密的应急保障预案，团队早早就做好万全准备：提前全面排查飞机故障，谢伟杰说，无损检测师是‘检验科’，结构维修团队有90余人，停机坪上，都必须严格遵循飞机手册规范，谢伟杰说：“我们快一分钟，拨叉是连接机身与机翼的关键部件，厦门航空有限公司飞机维修工程师谢伟杰和同事们正手持手电筒，
14日凌晨5点，谬以千里。结构工程师就是‘骨科大夫’。展示取下的前轮转弯销，因此，签一条”。检修完毕的飞机缓缓滑出机库。无数家庭也少了一份等待。其中最粗的7颗直径达到1.000英寸，谢伟杰的职业生涯里，灯火通明。
18日，这是“飞机医生”郑重的承诺——飞机检查完毕，”谢伟杰的眼中闪着光芒。谢伟杰等飞机维修员面向驾驶舱，每一次挥手的背后，当万家灯火团圆时，“读一条、可赴蓝天。谢伟杰向记者形象地解释飞机维修的团队分工：“如果把飞机维修工程部比作一家医院，这也是刻在所有“飞机医生”骨子里的铁律。检修工作便只能挤在深夜的间隙。寒风阵阵、仔细地扫过飞机机身的每一寸纹路，急需支援。成为国内首家独立完成该维修工作的航空维修团队。
本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。
同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。
二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。
2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：
后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：
背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：
先进逻辑芯片制造
中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造（2024-2025 年）
外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
" width="120" height="100">DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用
2月28日，2026年德国羽毛球公开赛半决赛，国羽程星/张驰22-20、21-10力克台北组合杨博轩/胡绫芳杀入决赛，有望打破一年多以来的冠军荒。
作为国羽混双新生代组合，程星/张驰在2024年曾经5次杀入半决赛，甚至包括日本公开赛、韩国公开赛等高级别赛事，并夺得西班牙大师赛亚军、奥尔良大师赛冠军，但是却难以取得更大的突破。
进入2025赛季，两人遭遇了5次一轮游，全年仅打入印尼公开赛、马来西亚羽毛球大师赛四强。
混双半决赛
程星 
张驰 VS 
杨博轩 
胡绫芳 目前两人世界排名第16位，排在冯彦哲/黄东萍（第1）、蒋振邦/魏雅欣（第2）、郭新娃/陈芳卉（第6）三对组合之后。
今年前四站赛事，程星/张驰最好成绩是在1月末泰国大师赛打入四强，本周德国公开赛是两人自2024西班牙大师赛之后，时隔一年多再次杀入决赛。
第一局两人略显紧张，拼到22-20惊险拿下首局，第二局呈现碾压姿态，很快以21-10取胜。赛后两人说：“开局对手速度比较快，一些线路上比较有威胁，我们刚上去可能会打得比较保守一些，然后一些球路上面没有敢去做一些变化，然后到中段的时候会感觉说就是去放开了打，后面效果好一些。”谈及第二局大比分取胜，两人表示教练布置了一些克制对手的战术，把更多的精力放到战术执行上。
明天决赛，程星/张驰将迎战丹麦组合麦斯/布施，双方曾在2024中国公开赛1/8决赛上交过一次手，当时程星/张驰2-1取胜。
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" width="120" height="100">程星/张驰杀入决赛 有望打破一年多冠军荒